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与热力燃烧法相比，其所需的燃料少，能量消耗低，设备设施的体积小。在化学反应过程中，利用催化剂降低燃烧温度，加速有毒有害气体完全氧化的方法，叫做催化燃烧法。由于催化剂的载体是由多孔材料制作的，具有较大的比表面积和合适的孔径，当加热到300——450℃的有机气体通过催化层时，氧和有机气体被吸附在多孔材料表层的催化剂上，增加了氧和有机气体接触碰撞的机会，提高了活性，使有机气体与氧产生剧烈的化学反应而生成CO2和H2O，同时产生热量，从而使得有机气体变成无害气体。催化剂是一种能改变化学反应速度，而在反应前后其本身的化学性质没有改变的物质。催化剂通常是由催化活性材料和催化载体构成。催化活性材料一般是金属或金属氧化物。其中贵重金属催化剂主要有铂、钯和钌等，普通金属催化剂主要有铜、铬、镍、钒、锰、铁、钴等金属及氧化物。催化载体是多孔材料，主要作用是使活性材料具有大的体表面积。
作为大气污染的重要来源，工业废气的高校治理尤为重要。由于生产的工艺不同，工业废气产生的污染物种类也不同，不同污染物种类应采用不同的处理工艺。目前，市场上常见的工业废气治理技术主要有：干法脱硫、湿法脱硫、物理/化学吸收法、烟气脱硝、稀释法、碱液中和法等等, 由于使用不同的吸收剂可获得不同的副产物而加以利用，因此湿法脱硫是各国研究多的方法。由于工业废气的成分越来越复杂，单一的废气处理技术方法很难达到理想的处理效果。业内人士认为，综合两种或两种以上处理技术，以及占地空间小、处理效率高的设备将受到市场关注。 资料显示，治理恶臭废气的核心技术是静电等离子废气治理技术，辅助技术是酸碱洗涤技术和生物膜过滤技术。静电等离子技术是静电技术与等离子技术的完美结合的复合技术，将静电技术的吸附和凝聚特性与等离子技术的荷电和裂解特性有机组合，形成了静电等离子技术的四大技术优势：荷电、裂解、吸附和凝聚，而废气的净化就是这四种特性共同作用完成的。
常见的产生等离子体的方法是气体放电，所谓气体放电是指通过某种机制使一电子从气体原子或分子中电离出来，形成的气体媒质称为电离气体，如果电离气由外电场产生并形成传导电流，这种现象称为气体放电。根据放电产生的机理、气体的压j源性质以及电极的几何形状、气体放电等离子体主要分为以下几种形式：①辉光放电；③介质阻挡放电；④射频放电；⑤微波放电。无论哪一种形式产生的等离子体，都需要高压放电。容易打火产生危险。由于对诸如气态污染物的治理，一般要求在常压下进行。 特点：① 不需要高成本的化学药剂，运行稳定，耐腐蚀，耐负荷冲击能力大。② 针对特定有害气体成份驯化适当的微生物，提高单位容积的负荷率。③ 填料采用有机无机混合填料，比表面积大，孔隙率高，并可为微生物提供营养，可支撑大量不同种群微生物群。④ 填料活性介质的损失小、可减少能耗，降低运行费用。采用强化自然生物降解污染物，无二次污染物产生。VOC去除率高，对H2S的去除率可达99%。 PLC控制系统自动运行，无需人员管理设备。
催化燃烧废气处理设备系统特点： 1、催化燃烧采用RCO工艺净化有机废气，可同时去除多种有机污染物，具有工艺简单、设备紧凑、运行可靠等优点； 2、催化燃烧设备具有净化率高，一般均可达95%以上； 3、催化燃烧设备具有运行费用低的优点，其热回收率一般可达95%以上； 4、整个过程无废水产生，净化过程不产生二次污染； 5、催化燃烧RCO净化设备可与烘箱配套使用，净化后的气体直接回用到烘箱加热设备，达到节能减排的目的； 6、催化燃烧设有5道装置，杜绝事故发生； 7、催化燃烧蓄热系统采用加热系统分段工作，自动跟踪温度并内置蓄热装置，节能省电；
