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在国内根据低温等离子体工业废气处理技术研发出相应的标准化废气治理设备，归于根本是利用一些化学反应的化学键拆分，得到无害的气体分子，从而达到环保排放烟气的标准要求。具体是利用所产生的高能电子、自由基等活性粒子、电离、裂解工业废气中的各组成份，使之发生分解，氧化等一些列复杂的化学反应，再经过多级净化，从而各种污染源排放的异味、臭味污染物，使有毒有害气体达到低毒化、化，保护人类生存环境。
低温等离子体技术应用范围广，气体的流速和浓度对于气态污染物治理技术应用来说是两个非常重要的因素。生物过滤和燃烧技术能应用于较高浓度范围，但却受气体的流速所限。而低温等离子体技术对气体的流速和浓度都有一个很宽的应用范围，低温等离子设备其应用广泛不言而喻。等离子体技术工艺简单。吸附法要考虑吸附剂的定期更换，脱附时还有可能造成二次污染；http://www.wzyihong.com燃烧法需要很高的操作温度；生物法要严格控制pH值、温度和湿度等条件，以适合生物的生长。而低温等离子体技术则较好的克服了以上技术的不足，反应条件为常温常压，反应器结构简单，低温等离子设备并可同时混合污染物(有些情况还具有协同作用)，不会产生二次污染等。就经济可行性来说，低温等离子体反
温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的 放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。(注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。)
等离子体反应区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形势产生的低温等离子技术相比较，等离子体技术放电密度是电晕放电的1500倍，这就是传统低温等离子体技术治理工业废气以失败而告终的原因。
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等离子体vocs废气处理原理
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。一般气体放电，将会产生等离子，而这种放电现像就是通过某种机制使一个或者多个电子从气体原理或分子中分离出来，形成气体媒质，这种媒质就称为电离气体，如果外电场产生了电离气体，传导电流就形成了，这种现象就被称为气体放电。而这种技术，就是vocs废气处理新的一种原理。
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石英等离子管的安装（参见图1-1）
a、机箱上安装孔的开设：
▲ 在石英等离子管的前端，有为安装固定方便而设计的硅胶质法兰头。安装时可在机箱表面开一直径为38mm的圆孔，圆孔两侧设两M4的安装螺孔，用于固定离子管的法兰头。
▲ 石英等离子管的尾部可用一直径为38mm的圆孔承托，其与支撑头部的圆孔应在同一轴线上，与头部支承孔的间距为：L-25mm。（L为石英等离子管的标称长度）。
b、安装方法：
▲ 先将等离子管的尾端先由头部安装孔穿入8-10cm。
▲ 再将配套的环形弹簧圈由离子管的尾部套入，并沿管身前移至距头部胶头约5cm处。
▲ 将离子管的尾部穿入尾部支承孔内，并至头部硅胶法兰凸缘紧贴机箱外壁，且凸缘上的两凹槽对准机箱上的两M4螺孔。
▲ 将配套的金属压片压在法兰盘上，并用螺丝固定。
| P3.4等离子管接线 |
石英等离子管的接线方式（参见图2-1）
▲ 等离子电源采用AC220V供电，输出为1800V-2000V的高频交流电。
▲ 等离子电源的其中一条输出线与石英等离子管不锈钢网上的弹簧圈连接。该点可再直接与金属机壳连接，而机壳必须与地线可靠连接。
▲ 等离子电源的另一条输出线与石英等离子管红色高压线连接，该线工作时因有约2000V的高压，因此必须可靠绝缘。并且因为是高频交流输出，因此在布线时应遵循尽量短的原则（由电源至离子管的电线长度不应超过2米）。
