虽然目前由于宏观经济环境不确定性导致终端市场的短期波动，但EUV出货量增长和DUV盈利能力加强，使得一季度销售额和毛利率水平略高于预期，尤其是看到来自台湾的收入占比由2018年四季度的20%提高到2019年一季度的43%。
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4月16日，三星宣布完成5nm FinFET工艺开发，台积电则推出了6nm（N6）工艺，都将利用EUV光刻，在2020年开始投产。
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