光氧催化利用高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物。
光氧催化利用氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。臭氧对有机物具有较强的氧化作用。工业废气输入到净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束和臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。
光氧催化利用细菌的分子键，破坏细菌的核酸，再通过臭氧进行氧化反应，达到净化杀灭细菌的目的。采用脉冲电晕吸附技术相结合的原理对有害气体进行，使有机物转变为无机物。
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uv光氧废气处理设备利用高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。光氧废气净化器类型有：UV光解除臭净化器，UV光解吸附除臭净化器，UV光解等离子复合净化器等几种。光氧废气净化器采用标准型A3钢或不锈钢制造，处理风量：2000-80000m3/h不等，是目前处理工业VOC类有机废气污染物的高新技术净化产品。
uv光氧废气处理设备除味机理：
1.光解
UV光氧设备内布置有数个紫外光器陈列，含有毒和异味高分子的烟气进入光化学餐饮油烟除味器时，这些高分子物质在强烈紫外线照射下快速光解，分子链断裂，分解为小分子基团。
2.氧化
分解后的小分子基团在特定频率的光呵光触媒的催化下与空气中的样氧发生氧化反应生成无害的小分子物质；同时，空气量的氧也在紫外光照射的催化下反应成臭氧，臭氧分子具有强氧化性，可将油烟废气中被分解后中分子基因氧化，生成无臭无害的小分子物质，从而使异味大大衰减或消失。
3.催化
催化器陈列由催化基质和光触媒组成，光触媒通过催化基质的固定，当纳米级光触媒超粒子接受紫外线照射时，其表面吸附的氧和水分被，产生活性极强的羟（qiang）基自由基OH，过氧羟基自由基HO2，超氧阴离子自由基O2等活性自由基，这些活性自由基和臭氧寿命极短，氧化活性极强，臭氧和这些活性自由基双重作用非常快地催化光解后的小分子基团先后发生氧化反应，生成水、二氧化碳等小分子物质，实现除异味、 、除污自洁、净化烟气的功能。
uv光氧废气处理设备选型说明
A、若采用UV光解技术净化废气，先需要确定个化学键键能，只有键能低于UV光子能量，才能被裂解。
上表中包含了氨、硫化氢、甲硫醇、甲硫醚等恶臭气体的所有化学键键长、键能参数，而光解氧化除臭设备产生的185nm紫外线光的光子能量达到647KJ/mol，185nm紫外线光波段中的成分广谱波长可短至100nm，其光子能量高达800KJ/mol以上，几乎所有恶臭气体的分子链都可被打开，从而起到臭味的作用。
B、废气分子只被裂解成原子、自由基是不够的，还需要通过臭氧将其氧化成稳定的小分子，如CO2、H2O等，从而达到废气净化的目的。顾需要有充分的氧气被UV光照射生成臭氧。
uv光氧废气处理设备注意事项:
1、为保证设备的净化效率，风机应设在废气净化器的后面。
2、废气净化器如安装在支架之上时，应与支架紧固连接；与排气管道之间的连接密封。
3、废气净化器应安装在室外，有足够的空间用来维护与维修；室外安装时，应加装防雨、遮阳的遮阳篷，以免影响废气净化器的正常使用寿命以及增加维护费用。
4、为保证废气净化器的净化效率，与设备出入风口连接的变径风管要尽量平顺。
5、废气净化器箱体应可靠接地，安装过程中不允许磕碰电极，严禁异物落在净化器内等。
光化学及光催化氧化法是目前研究较多的一项高级氧化技术。所谓光催化反应，就是在光的作用下进行的化学反应。光化学反应需要分子吸收特定波长的电磁辐射，受激产生分子激发态，然后会发生化学反应生成新的物质，或者变成引发热反应的中间化学产物。光化学反应的活化能来源于光子的能量，在太阳能的利用中光电转化以及光化学转化一直是十分活跃的研究领域。
光催化氧化技术利用光激发氧化将O2、H2O2等氧化剂与光辐射相结合。所用光主要为紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工艺，可以用于处理污水中CCl4、****等难降解物质。另外，在有紫外光的Fenton体系中，紫外光与铁离子之间存在着协同效应，使H2O2分解产生**自由基的速率大大加快，促进有机物的氧化去除。