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1、加工表面粗糙度低
高能束脉冲精密加工轨迹复杂，能由切削过程过渡到光整抛光过程，因而可获得Ra0.01～Ra0.04um的光洁表面。
2、工件尺寸精度高
高能束脉冲精密加工油石的粒度极细，只能切削工件的轮廓峰，所以加工余量很小（0.005～0.025mm），工件尺寸分散度小，合格率极高。
3、生产效率高
高能束脉冲精密加工的油石高速往复振动，加长了每一磨粒在单位时间内的切削长度，从而提高了生产效率。
四、加工表面质量好
1）、高能束脉冲精密加工的切削速度低（0.5～1.6m/s），油石压力小(0.05～0.5MPa)，所以加工时发热少，没有***现象，也不会使工件产生变形。
2）、磨粒刃的正反切削，形成的磨屑易于，不会在已加工表面形成划痕。
3）、高能束脉冲精密加工的变形层很薄，一般不大于0.0025mm，能形成耐磨性比珩磨更高的光洁表面。
五、修正工件形状和尺寸误差的作用较差
高能束脉冲精密加工是一种低压力进给加工，余量又小，油石切除材料的能力较弱，故修正工件形状和尺寸误差的作用较差，一般要求前道工序保证必要的精度。
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