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温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的 放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。(注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。)
等离子体反应区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形势产生的低温等离子技术相比较，等离子体技术放电密度是电晕放电的1500倍，这就是传统低温等离子体技术治理工业废气以失败而告终的原因。
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| 电 离 区： 高压电极丝和电极板之间形成电场，将小颗粒油污进行电离。 收 集 区： 带电的颗粒吸附到电极板上，汇成油滴后没光滑的电极板表面流到回收槽中。 后置过滤： 进一步加强净化效率，气味，可根据现场需要配置过滤器或活性炭过滤器。 |
低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使有毒有害物质转变成无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有极强潜在优势的高新技术，等离子体受到了国内外相关学科界的高度关注。
去除污染物机理
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1) 电场+电子→高能电子
(2) 高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基 团
(3) 活性基团+分子(原子)→生成物+热
(4) 活性基团+活性基团→生成物+热
从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
等离子废气净化设备适用于污水站、垃圾处理场所、公厕、喷漆、橡胶制品、印刷、中央空调、油烟粉尘领域、卷烟厂、纺织厂、大型火力发电厂、屠宰场等行业中，它们在生产过程中所产生的苯、甲苯、二甲苯类、醚类等有害气体。二、性能综述：
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石英等离子管的安装（参见图1-1）
a、机箱上安装孔的开设：
▲ 在石英等离子管的前端，有为安装固定方便而设计的硅胶质法兰头。安装时可在机箱表面开一直径为38mm的圆孔，圆孔两侧设两M4的安装螺孔，用于固定离子管的法兰头。
▲ 石英等离子管的尾部可用一直径为38mm的圆孔承托，其与支撑头部的圆孔应在同一轴线上，与头部支承孔的间距为：L-25mm。（L为石英等离子管的标称长度）。
b、安装方法：
▲ 先将等离子管的尾端先由头部安装孔穿入8-10cm。
▲ 再将配套的环形弹簧圈由离子管的尾部套入，并沿管身前移至距头部胶头约5cm处。
▲ 将离子管的尾部穿入尾部支承孔内，并至头部硅胶法兰凸缘紧贴机箱外壁，且凸缘上的两凹槽对准机箱上的两M4螺孔。
▲ 将配套的金属压片压在法兰盘上，并用螺丝固定。
| P3.4等离子管接线 |
石英等离子管的接线方式（参见图2-1）
▲ 等离子电源采用AC220V供电，输出为1800V-2000V的高频交流电。
▲ 等离子电源的其中一条输出线与石英等离子管不锈钢网上的弹簧圈连接。该点可再直接与金属机壳连接，而机壳必须与地线可靠连接。
▲ 等离子电源的另一条输出线与石英等离子管红色高压线连接，该线工作时因有约2000V的高压，因此必须可靠绝缘。并且因为是高频交流输出，因此在布线时应遵循尽量短的原则（由电源至离子管的电线长度不应超过2米）。
